[实用新型]一种LED晶圆片测试系统有效
| 申请号： | 201620273270.4 | 申请日： | 2016-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN205786991U | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 申利莹;张君逸;谢创宇;林仕蔚;潘冠甫;吴超瑜;王笃祥 | 申请（专利权）人： | 天津三安光电有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300384 天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种LED晶圆片测试系统，包括载片盘、探针盘、控制系统和积分球采集系统；所述探针盘上具有矩阵排列的控制电路和矩阵排列且可伸缩的探针；所述控制电路用于控制探针的伸缩，同时使探针按测试间隔排列并向其输入设置的电流或电压；所述控制系统用于控制矩阵排列的控制电路、设置LED晶圆片的测试间隔及测试电流或电压。采用本测试系统，不必移动载片盘或探针或采集系统，可以快速完成LED晶圆片的抽测或全测，同时测试间隔可根据需要任意调节，由此可以显著缩短LED晶圆片的抽测时间、以及全测时间，提高LED测试系统的测试效率和产能。尤其适用于抽测，在快速完成抽测后可以及时判定LED晶圆片的光电等级后进入后道制程，缩短LED生产周期。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 led 晶圆片 测试 系统 | ||
【主权项】：
一种LED晶圆片测试系统，其特征在于：包括载片盘、探针盘、控制系统和积分球采集系统，所述探针盘上具有矩阵排列的控制电路和矩阵排列且可伸缩的探针，所述控制系统连接并控制所述控制电路，所述控制电路控制所述探针的伸缩及按设置的测试间隔排列，并向所述探针输入设置的测试电流或电压，所述积分球采集系统包围待测LED晶圆片。
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