[实用新型]一种用于扩散炉的推舟装置及设有该装置的扩散炉

摘要

本实用新型涉及一种用于扩散炉的推舟装置及设有该装置的扩散炉。主要解决了现有扩散炉中加工出来的硅片技术参数一致性较差的问题。一种用于扩散炉的推舟装置，推舟装置包括硅舟，硅舟置于悬臂推拉舟机构上，悬臂推拉舟机构均匀排列有栅栏，栅栏置于硅舟四周，栅栏外侧面设有棱角结构，还涉及一种设有推舟装置的扩散炉，推舟装置置于扩散炉本体内，通过扩散炉本体内的导轨固定连接，扩散炉本体顶部设有净化柜。该用于扩散炉的推舟装置结构设计合理简单，设有棱角结构的栅栏能够阻挡气流直接吹向硅舟内部，减小硅舟上硅片受不均匀气流而导致的不合格品量，提高加工出来的硅片的技术参数的一致性，设有漏斗状抽气罩，排掉出舟时散发有毒气体。

主权项

一种用于扩散炉的推舟装置，所述推舟装置包括硅舟（1），其特征在于：所述硅舟（1）置于悬臂推拉舟机构（2）上，所述悬臂推拉舟机构（2）均匀排列有栅栏（3），所述栅栏（3）置于硅舟（1）四周，栅栏（3）外侧面设有棱角结构（4）。