[实用新型]一种控制离子注入的二维扫描装置有效
| 申请号： | 201620277974.9 | 申请日： | 2016-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN205428869U | 公开（公告）日： | 2016-08-03 |
| 发明（设计）人： | 刘辉;童雪林;刘光灿;谢明华;熊跃军 | 申请（专利权）人： | 长沙学院;长沙米德电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/302 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 410022 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种控制离子注入的二维扫描装置，该装置包括主控机、通信接口电路、DSP处理器、FPGA、键盘、两路高速DAC转换电路、两路滤波电路、两路缓冲放大电路和高压放大电路。两路高压放大电路和两路缓冲放大电路连接，两路缓冲放大电路和两路高速DAC连接，FPGA和两路高速DAC连接，DSP处理器与FPGA连接，主控机通过通信接口电路连接DSP处理器进行数据通信，启停控制和工作状态指示。本实用新型能够实现离子注入晶片的圆周形扫描，任意区域扫描，减少扫描时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 控制 离子 注入 二维 扫描 装置 | ||
【主权项】：
一种控制离子注入的二维扫描装置，包括主控机、通信接口电路、DSP处理器、FPGA、键盘、两路高速DAC转换电路、两路滤波电路、两路缓冲放大电路和高压放大电路；两路高压放大电路和两路缓冲放大电路连接，两路缓冲放大电路和两路高速DAC连接，FPGA和两路高速DAC连接，DSP处理器与FPGA连接，主控机通过通信接口电路连接DSP处理器。
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