[实用新型]一种控制离子注入的二维扫描装置有效

专利信息
申请号: 201620277974.9 申请日: 2016-04-06
公开(公告)号: CN205428869U 公开(公告)日: 2016-08-03
发明(设计)人: 刘辉;童雪林;刘光灿;谢明华;熊跃军 申请(专利权)人: 长沙学院;长沙米德电子科技有限公司
主分类号: H01J37/317 分类号: H01J37/317;H01J37/302
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 410022 湖*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 实用新型公开了一种控制离子注入的二维扫描装置,该装置包括主控机、通信接口电路、DSP处理器、FPGA、键盘、两路高速DAC转换电路、两路滤波电路、两路缓冲放大电路和高压放大电路。两路高压放大电路和两路缓冲放大电路连接,两路缓冲放大电路和两路高速DAC连接,FPGA和两路高速DAC连接,DSP处理器与FPGA连接,主控机通过通信接口电路连接DSP处理器进行数据通信,启停控制和工作状态指示。本实用新型能够实现离子注入晶片的圆周形扫描,任意区域扫描,减少扫描时间。
搜索关键词: 一种 控制 离子 注入 二维 扫描 装置
【主权项】:
一种控制离子注入的二维扫描装置,包括主控机、通信接口电路、DSP处理器、FPGA、键盘、两路高速DAC转换电路、两路滤波电路、两路缓冲放大电路和高压放大电路;两路高压放大电路和两路缓冲放大电路连接,两路缓冲放大电路和两路高速DAC连接,FPGA和两路高速DAC连接,DSP处理器与FPGA连接,主控机通过通信接口电路连接DSP处理器。
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