[实用新型]一种气膜屏蔽阵列电极微细电解加工装置

摘要

本实用新型公开了气膜屏蔽阵列电极微细电解加工装置，包括固定装置、支撑板和工具电极，固定装置内设置有气体腔和液体腔，液体腔包括上部液体腔和下部液体腔，上部液体腔和中部液体腔之间设有支撑板，支撑板上设有圆周阵列凹槽状的通孔；工具电极采用3×3的群孔柱状电极，固定装置的底部设置有3×3与工具电极相配合的出液孔；固定装置的底部还设置有3×3个出气孔，出气孔呈圆环形，每个出液孔位于一个出气孔的内圆处。本实用新型采用电解液束外包覆一层气膜的方法，对电解液的喷射范围进行限制，控制电解液聚焦于工具电极正对工件的区域内，改变电解液在工件表面的分布特性，提高微细电解加工在微米级尺度加工范围内的加工效率和加工精度。

主权项

一种气膜屏蔽阵列电极微细电解加工装置，其特征在于：包括固定装置、支撑板和工具电极，所述固定装置内设置有气体腔和液体腔，所述液体腔包括上部液体腔和下部液体腔，所述上部液体腔上设置有进液孔，所述进液孔连接供液管，通过供液管连接溶液槽，所述上部液体腔和中部液体腔之间设有支撑板，所述支撑板上设有圆周阵列凹槽状的通孔；所述工具电极采用3×3的群孔柱状电极，工具电极固定在固定装置内，所述工具电极的上端通过四个键槽与固定装置固定连接，工具电极的中部位于下部液体腔内，工具电极的下端伸出于所述固定装置外；所述固定装置的底部设置有3×3与工具电极相配合的出液孔，出液孔与下部液体腔连通；所述气体腔上设置有进气孔，所述进气孔处设置有供气管，所述气体腔通过供气管外接空气压缩机，所述固定装置的底部还设置有3×3个出气孔，所述出气孔呈圆环形且3×3个出气孔分别包围3×3个出液孔，每个出液孔位于一个出气孔的内圆处。