[实用新型]多晶硅还原炉尾气回收液冷却系统

摘要

本实用新型提供了一种多晶硅还原炉尾气回收液冷却系统，包括炉体、换热器、冷凝器、进气罐、储气罐、文丘里管，炉体包括钟罩与内胆，钟罩与内胆之间包括设于底部的第一排气管与第一排液管，内胆顶部设有第一进液管，炉体底部设有进气总管与排气总管，第一排气管与排气总管会合后连接换热器热气入口，进气罐的出气口连接换热器的冷气入口，换热器的热气出口连接进气总管，换热器的冷气出口连接储气罐，储气罐的液体出口通过泵与第一排液管均连接文丘里管的入口端，文丘里管的出口连接设于第一进液管。本实用新型减少了还原炉内三氯氢硅冷却液用量，钟罩内壁由于温度较低不会沉积硅粉，保持了钟罩内壁的抛光效果，减少了尾气处理量，降低了能耗。

主权项

多晶硅还原炉尾气回收液冷却系统，其特征在于：包括炉体、换热器、冷凝器、进气罐、储气罐、文丘里管，所述炉体包括钟罩与内胆，所述钟罩与内胆之间包括设于底部的第一排气管与第一排液管，所述内胆顶部设有第一进液管，炉体底部设有进气总管与排气总管，所述第一排气管与排气总管会合后连接换热器热气入口，所述进气罐的出气口连接换热器的冷气入口，换热器的热气出口连接进气总管，换热器的冷气出口连接储气罐，储气罐的液体出口通过泵与第一排液管均连接文丘里管的入口端，文丘里管的出口连接设于内胆顶部的第一进液管。