[实用新型]晶棒加工设备及用于该设备的主轴机构

摘要

本实用新型公开了一种晶棒加工设备及用于该设备的主轴机构，所述主轴机构包括：基板，基板上设有转动式底盘；设置于转动式底盘上的双头主轴，双头主轴的第一端设有第一加工装置，双头主轴的第二端设有第二加工装置；设置于基板上且与转动式底盘相连的第一驱动装置，用于驱动转动式底盘进行转动以使双头主轴中的第一加工装置和第二加工装置切换位置。本实用新型应用于多工位晶棒加工设备的主轴机构，通过在双头主轴的两端分别设置两种不同的加工装置，当第一加工装置加工完成后，通过第一驱动装置驱动转动式底盘旋转180°就可以进行第二加工装置的加工，这样既保证了可以完成二种加工工序的要求，又可以节约一个工位，结构简单实用。

主权项

一种应用于多工位晶棒加工设备的主轴机构，其特征在于，包括：基板，所述基板上设有转动式底盘；设置于所述转动式底盘上的双头主轴，所述双头主轴的第一端设有第一加工装置，所述双头主轴的第二端设有第二加工装置；设置于所述基板上且与所述转动式底盘相连的第一驱动装置，用于驱动所述转动式底盘进行转动以使所述双头主轴中的所述第一加工装置和所述第二加工装置切换位置。