[实用新型]一种各向异性磁电阻齿轮传感器芯片

摘要

本实用新型公开了一种各向异性磁电阻齿轮传感器芯片。该新型设计将多条响应通道包含于单个响应区域中，使得单一设计图样可以用于生产适应多种齿间距的齿轮传感器。探测臂置于响应区域同侧边沿，可有效减小响应区域同齿轮间距离，增强检测信号，特别有利于磁栅尺类齿速检测等特定应用。传感器敏感方向同响应区域排列方向一致，能够有效避免强背磁场将传感器芯片进入饱和态。此外，各向异性磁电阻齿轮传感器还具有低温度漂移，低零点漂移，低磁滞，零磁致伸缩，小区域高输出信号及热稳定性的优点。

主权项

一种各向异性磁电阻齿轮传感器芯片，其特征在于，所述传感器芯片包括：硅基板，位于硅基板上的一个或多个响应区域，每个响应区域包含多条响应通道，每条响应通道为至少两条探测臂拼合成，所述的探测臂包括竖直结构和倾斜结构，接触电极窗口串联连接且位于所述探测臂的两端，竖直结构和倾斜结构分别由多个平行排列磁电阻及覆盖于磁电阻两端的连接电极串连而成，单条磁电阻为两端呈锥形的条状结构，所述的探测臂分布于响应区域同一侧边沿，所述的接触电极窗口位于响应区域另一侧。