[实用新型]用于高洁净度作业空间的防护型输送机构

摘要

一种用于高洁净度作业空间的防护型输送机构，克服了现有直角坐标机器人无法满足用于高洁净度作业空间要求的缺陷，其技术要点是：采用了密封和负压吸附相结合的独特结构，即以防尘带封闭直线电机的动子及与定位支承连接板组装在一起的外接备用固定板运动需要的通道开口，把基体内腔形成封闭腔体，将驱动主体全部封装在基体腔体内，通过与外部负压源连通的封闭腔体内的负压吸附作用，使产生的气流有序地流动，通过封闭腔体内相对应的排气口排出，确保各运动单元所产生的微尘不泄露出基体的封闭腔体。其结构设计合理，运动单元产生的微尘不外溢，避免了污染周围环境和物料，作业范围广，运行速度快、定位精度高，能满足各种高洁净度作业空间的要求。

主权项

一种用于高洁净度作业空间的防护型输送机构，包括由基板以及设置有上、下护板和上、下罩板的侧板构成的基体，组装在基体内的由直线电机与直线导轨相配合的直线运动装置，设置在侧板上的与基体内腔连通的用于连接外部负压源的出气口，其特征在于：所述直线电机的定子及直线导轨分别固定在基板上，直线电机的动子及沿直线导轨滑动的滑块分别固定在定位支承连接板上，跟随直线电机的动子同步移动的定位支承连接板的通道口封装防尘带；将基体内腔形成封闭腔体的防尘带的两端，通过端压板分别固定在侧板的两端面，防尘带的周边与设置在侧板的上、下护板的接触端面之间有微隙，张紧防尘带的上、下压辊支承在包覆有防护罩板的外接备用固定板上，外接备用固定板与定位支承连接板组装在一起，并使外接备用固定板的连接座露出防护罩板的上表面；基体内的封闭腔体通过基板分隔成相互连通的导轨腔体和拖链腔体，导轨腔体和拖链腔体的两端分别设置与负压源连通的导轨腔出气口和拖链腔出气口。