[实用新型]蚀刻设备及其卷式放料装置有效

专利信息
申请号: 201620284063.9 申请日: 2016-04-07
公开(公告)号: CN206003744U 公开(公告)日: 2017-03-08
发明(设计)人: 苏骞;刘全胜;金永哲;乌磊;孟敏 申请(专利权)人: 深圳市奥美特科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙)44314 代理人: 张约宗,张秋红
地址: 518000 广东省深圳*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种蚀刻设备及其卷式放料装置,该卷式放料装置包括料卷承载装置包括支承座、转轴、螺筒、操作柄、一对螺套、若干对连接杆以及若干个横杆;该转轴以一端可转动地安装在该支撑座上;该螺筒可转动地套设于该转轴上并具有外螺纹;该操作柄与该螺筒相连;该一对螺套具有与所述外螺纹相配合的内螺纹,其套设在该螺筒上,该内螺纹与该外螺纹以特定的关系相配合;该若干对连接杆呈放射状间隔地分布于该一对螺套的周向上,每一对连接杆的一端分别与该一对螺套铰接;该若干个横杆分别铰接于该若干对连接杆的另一端。本实用新型中,该一对螺套在所述螺筒上靠近或远离时,能够带动横杆远离或靠近转轴,从而能够适配不同孔径的料带卷。
搜索关键词: 蚀刻 设备 及其 卷式放料 装置
【主权项】:
一种蚀刻设备用卷式放料装置,包括框架以及安装于该框架上的至少一个料卷承载装置,其特征在于,该料卷承载装置包括支承座、转轴、螺筒、操作柄、一对螺套、若干对连接杆以及若干个横杆;该转轴以一端可转动地安装在该支撑座上;该螺筒可转动地套设于该转轴上,并具有外螺纹;该操作柄与该螺筒相连,以驱动该螺筒相对该转轴转动;所述外螺纹包括第一外螺纹和第二外螺纹,该第一外螺纹和该第二外螺纹沿着螺筒的轴向分布,且旋转方向相反;所述一对螺套分别套设于该第一外螺纹和第二外螺纹上,该一对螺套具有与所述外螺纹相配合的内螺纹,其套设在该螺筒上,并分别与该第一外螺纹和第二外螺纹相螺合,使得该螺筒旋转时,该一对螺套能够在螺筒上靠近或远离;该若干对连接杆呈放射状间隔地分布于该一对螺套的周向上,每一对连接杆的一端分别与该一对螺套铰接;该若干个横杆分别铰接于该若干对连接杆的另一端,用以供料带卷套设于其上;该一对螺套在所述螺筒上靠近或远离时,能够带动所述横杆远离或靠近所述转轴,从而能够适配不同孔径的料带卷。
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