[实用新型]具有温度调节功能的托盘单元及利用其的基板放置系统有效
| 申请号： | 201620284708.9 | 申请日： | 2016-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN205452233U | 公开（公告）日： | 2016-08-10 |
| 发明（设计）人： | 郑相坤;金亨源;丘璜燮;金铉济;郑熙锡 | 申请（专利权）人： | 吉佳蓝科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/20 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 张敬强;严星铁 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种具有温度调节功能的托盘单元及利用其的基板放置系统。本实用新型的具有温度调节功能的托盘单元包括：下板，其以能够使气体流动的方式沿垂直方向形成有第二热传递气体流路，与所述第二热传递气体流路分开地形成有温度调节部，在所述第二热传递气体流路上放置基板；上板，其以能够覆盖所述下板的方式安装于所述下板上，以使所述基板的平面能够暴露于等离子体的方式形成有孔。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 温度 调节 功能 托盘 单元 利用 放置 系统 | ||
【主权项】：
一种具有温度调节功能的托盘单元，其特征在于，包括：下板，其以能够使气体流动的方式沿垂直方向形成有第二热传递气体流路，与所述第二热传递气体流路分开地形成有温度调节部，在所述第二热传递气体流路上放置有基板；上板，其以能够覆盖所述下板的方式安装于所述下板上，以使所述基板的平面能够暴露于等离子体的方式形成有孔。
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