[实用新型]一种刻蚀加压喷淋清洗器

摘要

本实用新型涉及一种刻蚀加压喷淋清洗器。其技术方案是：在硅片的上部设有上清洗装置，在硅片的下部设有下清洗装置，在第一水刀管路的右侧设有第一水汽混合加压装置，在第一水刀管路的下侧设有第一水刀，在第一水刀上设有多个第一喷雾头，在第二水刀管路的右侧设有第二水汽混合加压装置，在第二水刀管路的上侧设有第二水刀，在第二水刀上设有多个第二喷雾头，雾化座的出液端设有雾化盖，在雾化盖的中心设有出液孔，以出液孔为圆心的外周设有环槽。本实用新型的有益效果是：本实用新型在硅片的上部和下部均设有清洗装置，清洗装置上加设有水汽混合加压装置，喷雾头喷出的喷雾为扇形，这样，节省了去离子水，降低了费用，并且清洗效果好。

主权项

一种刻蚀加压喷淋清洗器，其特征是：包括上清洗装置和下清洗装置，在硅片（6）的上部设有上清洗装置，在硅片（6）的下部设有下清洗装置，上清洗装置包括第一水刀管路（1）、第一水刀（2）、第一喷雾头（3）、第一水汽混合加压装置（4）、第一水刀支架（5），在第一水刀管路（1）的右侧设有第一水汽混合加压装置（4），在第一水刀管路（1）的右端头设有第一水刀支架（5），在第一水刀管路（1）的下侧设有第一水刀（2），在第一水刀（2）上设有多个第一喷雾头（3），下清洗装置包括第二水刀管路（7）、第二水刀（8）、第二喷雾头（9）、第二水汽混合加压装置（10）、第二水刀支架（11），在第二水刀管路（7）的右侧设有第二水汽混合加压装置（10），在第二水刀管路（7）的右端头设有第二水刀支架（11），在第二水刀管路（7）的上侧设有第二水刀（8），在第二水刀（8）上设有多个第二喷雾头（9），所述的第一喷雾头（3）包括雾化座（3.1）、雾化盖（3.2）、环槽（3.3）、出液孔（3.4），雾化座（3.1）的出液端设有雾化盖（3.2），在雾化盖（3.2）的中心设有出液孔（3.4），以出液孔（3.4）为圆心的外周设有环槽（3.3）。