[实用新型]一种电子束钛膜支撑装置有效
| 申请号： | 201620292581.5 | 申请日： | 2016-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN205582879U | 公开（公告）日： | 2016-09-14 |
| 发明（设计）人： | 徐斌;蔡莉;赵跃春;姚江涛 | 申请（专利权）人： | 安徽戈瑞电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J29/02 | 分类号： | H01J29/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230001 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种电子束钛膜支撑装置，包括钛膜和支撑板，所述钛膜上依次排列多组支撑板，所述多组支撑板之间为真空室，所述支撑板每组间隔距离为5㎜‑10㎜，所述支撑板板宽为0.5㎜‑1.0㎜，所述支撑板板高为5㎜‑8㎜。本新型可以采用大面积的电子束输出窗，使用较薄的钛膜，使钛膜在支撑结构下局部变形比较小，也比较均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子束 支撑 装置 | ||
【主权项】：
一种电子束钛膜支撑装置，包括钛膜(1)和支撑板(3)，其特征在于，所述钛膜(1)上依次排列多组支撑板(3)，所述多组支撑板(3)之间为真空室(2)，所述支撑板(3)每组间隔距离为5㎜‑10㎜，所述支撑板(3)板宽为0.5㎜‑1.0㎜，所述支撑板(3)板高为5㎜‑8㎜，所述钛膜(1)厚度为5μm‑20μm。
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