[实用新型]一种基于迈克尔逊干涉原理的复合干涉绝对位移测量装置

摘要

本实用新型公开了一种基于迈克尔逊干涉原理的复合干涉绝对位移测量装置，属于光学测量技术领域。所述系统由低相干光光源、高相干光光源、第一平面镜、第二平面镜、第三平面镜、分光片、补偿板、接收器、额外补偿板组成。采用一套干涉装置，同时通以三路光路，低相干光光路作为绝对测量时的定标作用，第一高相干光光路起着精密测量位移的功能，第二高相干光光路测量环境因素导致的光程改变量以消除测量误差。该实用新型结构简单，使用方便，能有效消除机械传动装置的双向传动误差或压电陶瓷促动器的非线性及温度，气流，震动等环境因素对测量的影响，并降低仪器制造和测量成本实现精密测量。

主权项

一种基于迈克尔逊干涉原理的复合干涉绝对位移测量装置，其特征在于它是由低相干光光源（1）、高相干光光源（2）、分光片（3）、三块平面镜（4、6、7）、补偿板（5）、接收器（8）、位移轨道（M）及按需添加的额外补偿板（10）组成：其特征在于：第二平面镜(6)和第三平面镜(7)同向平行放置，其中第二平面镜(6)安置在位移轨道(M)上的滑块上；高相干光光源(2)和低相干光光源(1)同向放置，同时发出光束，其中高相干光经分束后分成两束平行光，分束后的高相干光和低相干光构成三束平行光束；补偿板(5)放置在分光片(3)透射光出来的一侧，并与分光片(3)平行；三平行光束射到分光片(3)上，分光片(3)把这三束光分成了两路光束，一路反射光束，一路透射光束，每一路光束都包含一束低相干光和两束高相干光，其中一路反射光束经过第一平面镜(4)反射后又从分光片(3)透射出；另一路透射光束中的低相干光光束和第一高相干光光束经过补偿板(5)后经第二平面镜(6)反射，又经补偿板(5)后返回到分光片(3)表面处；而透射光束中的第二高相干光光束经过补偿板(5)后经第三平面镜(7)反射，又经补偿板(5)后返回到分光片(3)表面处；三束光由于反射而与第一路光束中的各光束分别汇合成三束相干光，再被接收器（8）分别接收。