[实用新型]耐高温的发光二极管蒸镀膜图案形成的装置有效
申请号: | 201620317012.1 | 申请日: | 2016-04-15 |
公开(公告)号: | CN205828416U | 公开(公告)日: | 2016-12-21 |
发明(设计)人: | 龚正;刘建政;杨政达 | 申请(专利权)人: | 元茂光电科技(武汉)有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/36 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 430074 湖北省*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本实用新型提供一种耐高温的发光二极管蒸镀膜图案形成的装置,包括一载具、一耐高温磁性吸附组件、一芯片以及一非磁性金属掩膜。载具具有第一容置空间及第二容置空间。耐高温磁性吸附组件设置于第一容置空间内。芯片设置于载具的第二容置空间内。非磁性金属掩膜覆盖载具的第二容置空间,其中高温的温度是80℃以上。 | ||
搜索关键词: | 耐高温 发光二极管 镀膜 图案 形成 装置 | ||
【主权项】:
一种耐高温的发光二极管蒸镀膜图案形成的装置,其特征在于,包括:一载具,具有一第一容置空间及一第二容置空间;一耐高温磁性吸附组件,设置于该第一容置空间内;一芯片,设置于该载具的该第二容置空间内;以及一非磁性金属掩膜,覆盖该载具的该第二容置空间;其中,该高温的温度是80℃以上。
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