[实用新型]一种硅片载盒传动装置

摘要

本实用新型提供了一种硅片载盒传动装置，其包括引导组件、位于引导组件一端的转动组件、位于引导组件另一端的滚轮组件及电机，所述引导组件包括支撑架、位于所述支撑架两侧的盒子引导板、位于所述盒子引导板内侧的传送带引导板及位于所述传送带引导板上方的传送带；所述转动组件包括主轴和随动轮；所述滚轮组件包括位于传送带引导板端部的阻挡板，所述电机驱动主轴正反转，所述主轴带动随动轮做相应正反转动，所述随动轮带动传送带在所述传送带引导板上往返运动。本实用新型既方便硅片的输送又保障硅片安全，降低碎片率，提高成品率。

主权项

一种硅片载盒传动装置，其特征在于：所述传动装置包括引导组件、位于引导组件一端的转动组件、位于引导组件另一端的滚轮组件(3)及电机，所述引导组件包括支撑架(2)、位于所述支撑架(2)两侧的盒子引导板(1)、位于所述盒子引导板(1)内侧的传送带引导板(4)及位于所述传送带引导板(4)上方的传送带(8)；所述转动组件包括主轴(6)和随动轮(9)；所述滚轮组件包括位于传送带引导板(4)端部的阻挡板(10)，所述电机(5)驱动主轴(6)正反转，所述主轴(6)带动随动轮(9)做相应正反转动，所述随动轮(9)带动传送带(8)在所述传送带引导板(4)上往返运动。