[实用新型]一种多用镀膜机有效
| 申请号： | 201620330902.6 | 申请日： | 2016-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN205590783U | 公开（公告）日： | 2016-09-21 |
| 发明（设计）人： | 丁进金 | 申请（专利权）人： | 绍兴鑫兴纺织镭射科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 312000 浙江省绍兴市袍*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种多用镀膜机，具体而言，特别涉及一种集蒸发镀膜以及磁控镀膜于一体的多用镀膜机。其包括钟形罩体，所述钟形罩体上方设置真空罩顶端法兰，所述钟罩下部连接真空系统，所述钟罩内部设置有基片架、蒸发源以及第一挡板，所述基片架通过基片架旋转轮圈与传动杆相连，所述蒸发源设置于第一挡板下方，所述第一挡板通过挡板转动杆与所述钟罩底部相连，所述基片架上下分别安装有带烘烤装置的溅射基片架和蒸发基片架，所述溅射基片架上方设置有预溅射挡板，所述钟罩上部设置有靶体。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多用 镀膜 | ||
【主权项】：
一种多用镀膜机,包括钟形罩体(1)，所述罩体(1)上方设置真空罩顶端法兰(2)，所述罩体(1)下部连接真空系统(13)，所述罩体(1)内部设置有基片架(3)、蒸发源(4)以及第一挡板(5)，所述基片架(3)通过基片架旋转轮圈(6)与传动杆(7)相连，所述蒸发源(4)设置于第一挡板(5)下方，所述第一挡板(5)通过挡板转动杆(10)与所述罩体(1)底部相连，其特征在于：所述基片架(3)上下分别安装有带烘烤装置(8)的溅射基片架(31)和蒸发基片架(32)，所述溅射基片架(31)上方设置有预溅射挡板(11)，所述罩体(1)上部设置有靶体(9)。
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