[实用新型]用于操作衬底的工具和外延生长炉有效
| 申请号： | 201620331537.0 | 申请日： | 2016-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN205900509U | 公开（公告）日： | 2017-01-18 |
| 发明（设计）人： | 弗朗西斯科﹒科里亚;温琴佐﹒奥格里亚里;弗兰科﹒普雷蒂 | 申请（专利权）人： | LPE公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京酷爱智慧知识产权代理有限公司11514 | 代理人： | 刘谦 |
| 地址： | 意大利米*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种在外延生长炉中操作衬底的工具(1)，包括吊臂(2)和抓握盘(3)；所述抓握盘(3)包括一个置于其下表面的用以容纳待操作的衬底(6)的底座(5)；抓握盘(3)安装在吊臂(2)上；其特征在于抓握盘(3)还包括一由弹性材料制成、可与待操作的衬底6的边缘接触的环形部件(31)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 操作 衬底 工具 外延 生长 | ||
【主权项】：
一种在外延生长炉中操作衬底的工具(1)，包括：吊臂(2)和抓握盘(3)；所述抓握盘(3)包括一个置于其下表面的用以容纳待操作的衬底(6)的底座(5)；抓握盘(3)安装在吊臂(2)上；其特征在于：抓握盘(3)还包括一由弹性材料制成、可与待操作的衬底6的边缘接触的环形部件(31)。
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