[实用新型]应用六方形螺旋环分压器的硅漂移室探测器

摘要

本实用新型公开了一种应用六方形螺旋环分压器的硅漂移室探测器，属于X射线和伽马射线半导体探测器技术领域，包括在硅基上制作的六方形螺旋环分压器和六方形硅漂移室，螺旋环分压器的硅基块的上表面和下表面均蚀刻有螺旋环，硅漂移室的硅基块的上表面和下表面均蚀刻有同心环，螺旋环之间及同心环之间的间距较宽的是P型重掺杂区域，螺旋环之间及同心环之间的间距较窄的是N型轻掺杂区域；P型重掺杂螺旋环或同心环的宽度能做渐进变宽调节，P型重掺杂同心环宽度与P型重掺杂同心环宽度和N型轻掺杂区域宽度之和的比率η≥0.7。解决了现有探测器自身产热高、不易散热、耗能大、成本高的问题。

主权项

一种应用六方形螺旋环分压器的硅漂移室探测器，其特征在于，包括在硅基上制作的六方形螺旋环分压器(1)和六方形硅漂移室(2)，六方形螺旋环分压器(1)的硅基块的上表面和下表面均蚀刻有螺旋环，六方形硅漂移室(2)的硅基块的上表面和下表面均蚀刻有同心环，螺旋环之间及同心环之间的间距较宽的是P型重掺杂区域，螺旋环之间及同心环之间的间距较窄的是N型轻掺杂区域；P型重掺杂螺旋环或同心环的宽度能做渐进变宽调节，P型重掺杂同心环宽度与P型重掺杂同心环宽度和N型轻掺杂区域宽度之和的比率η≥0.7。