[实用新型]一种大批量芯片等离子处理专用电极

摘要

本实用新型涉及一种大批量芯片等离子处理专用电极，包括真空舱体、样品架、绝缘材料、真空泵、样品料盒和高频高压电。所述样品架为垂直多层结构，置于真空舱体内部；所述真空舱体作为阴极，样品架作为阳极，阳极和阴极平行间隔排列；所述样品料盒直接置于样品架上，其侧面开有孔洞，使得样品料盒外部的离子能够穿过孔洞轰击样品料盒内的样品；同时样品料盒内部存在的气体分子被电离后，也会向阴极运动，轰击样品，使样品得到有效的等离子轰击处理。因为阴阳极板是平行排列的，所以在每对极板之间的等离子密度是一致的，即速度和方向一致性得到了保证，从而提高了产品的一致性。

主权项

一种大批量芯片等离子处理专用电极，其特征在于，所述电极包括：真空舱体(1)、样品架(2)、绝缘材料(3)、真空泵(4)、样品料盒(5)和高频高压电(6)；所述样品架(2)置于所述真空舱体(1)内部；所述真空舱体(1)作为阴极，样品架(2)作为阳极，阴极和阳极平行间隔排列。