[实用新型]蒸发源及具有该蒸发源的蒸镀设备有效
| 申请号： | 201620341052.X | 申请日： | 2016-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN205501406U | 公开（公告）日： | 2016-08-24 |
| 发明（设计）人： | 张峰杰 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;黄灿 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种蒸发源及具有该蒸发源的蒸镀设备。该蒸发源包括具有容置空间的外壳体，其中所述外壳体上设置有喷射口；用于设置蒸发材料的蒸发源本体，所述蒸发源本体设置于所述容置空间内与所述喷射口相对的位置，且所述蒸发源本体与所述喷射口之间形成有蒸发材料所蒸发气体的流动空间；第一加热丝，设置于所述流动空间中。所述蒸发源通过在蒸发源本体上方设置流动空间，且流动空间中设置第一加热丝用于为所通过的蒸发材料进行二次加热，使蒸气温度提高，从而不易在喷射口形成结晶，避免堵塞问题。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 具有 设备 | ||
【主权项】：
一种蒸发源，其特征在于，包括：具有容置空间的外壳体，其中所述外壳体上设置有喷射口；用于设置蒸发材料的蒸发源本体，所述蒸发源本体设置于所述容置空间内与所述喷射口相对的位置，且所述蒸发源本体与所述喷射口之间形成有蒸发材料所蒸发气体的流动空间；第一加热丝，设置于所述流动空间中。
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