[实用新型]测量高功率激光聚焦光斑强度分布的衰减装置有效

专利信息
申请号: 201620344783.X 申请日: 2016-04-24
公开(公告)号: CN205691848U 公开(公告)日: 2016-11-16
发明(设计)人: 鄢雨;吴秀榕;梁小生 申请(专利权)人: 湖南戴斯光电有限公司
主分类号: G02B17/08 分类号: G02B17/08;G01M11/02
代理公司: 长沙星耀专利事务所 43205 代理人: 许伯严
地址: 410600 湖南省*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 实用新型涉及高功率激光聚焦光斑强度分布测量分析领域,尤其指一种测量高功率激光聚焦光斑强度分布的衰减装置。激光束依次经过聚焦系统、第一反射镜、第二反射镜和光束分析仪;激光束经过聚焦系统形成聚焦光斑,经过第一反射镜、第二反射镜形成轴外点;由第一反射镜和第二反射镜组成一倍远心反射式成像系统;第一反射镜的第一球面和第二反射镜的第二球面共球心,且第一球面的曲率半径是第二球面的曲率半径的两倍;所述聚焦光斑位于反射镜组的球心面的轴外,成像于轴外点,即对称分布在光轴两侧;光束分析仪对轴外点的成像光斑进行分析,直接测量聚焦光斑分布。
搜索关键词: 测量 功率 激光 聚焦 光斑 强度 分布 衰减 装置
【主权项】:
测量高功率激光聚焦光斑强度分布的衰减装置,其特征是,激光束(10)依次经过聚焦系统(20)、第一反射镜(40)、第二反射镜(50)和光束分析仪(70);所述激光束(10)经过聚焦系统(20)形成聚焦光斑(30),经过第一反射镜(40)、第二反射镜(50)形成轴外点(60);由第一反射镜(40)和第二反射镜(50)组成一倍远心反射式成像系统(100);第一反射镜(40)的第一球面(41)和第二反射镜(50)的第二球面(51)共球心,且第一球面(41)的曲率半径是第二球面(51)的曲率半径的两倍;所述聚焦光斑(30)位于反射镜组的球心面的轴外,成像于轴外点(60),即对称分布在光轴两侧;光束分析仪(70)对轴外点(60)的成像光斑进行分析,获得强度分布。
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