[实用新型]盛放石英坩埚用的碳碳坩埚有效
申请号: | 201620345812.4 | 申请日: | 2016-04-22 |
公开(公告)号: | CN205590834U | 公开(公告)日: | 2016-09-21 |
发明(设计)人: | 赵会刚;李德建;张晓朋;李朝阳 | 申请(专利权)人: | 河北宁通电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10;C30B29/06 |
代理公司: | 石家庄元汇专利代理事务所(特殊普通合伙) 13115 | 代理人: | 周大伟 |
地址: | 055550 河北省邢*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种坩埚,特别是涉及一种盛放石英坩埚用的碳碳坩埚,包括石墨底座、碳碳坩埚和上盖,碳碳坩埚放在底座上,上盖与碳碳坩埚扣合,碳碳坩埚为左右两瓣式结构,碳碳坩埚的下端为底口卡槽,底座包括底口和底托,底托上端有梯形凹槽,底口的下端嵌入底托的梯形凹槽中,底口上端嵌入底口卡槽,底口与碳碳坩埚组合成一体式坩埚形状。本实用新型采用了碳碳材料的坩埚壁,节省了石墨的用量,两瓣式结构可拆卸,方便石英坩埚的取出,且底座分成两部分,减少了石墨底座的破坏范围,底托破损几率低,石墨利用率高,极大的节省了单晶硅生产的成本。 | ||
搜索关键词: | 盛放 石英 坩埚 | ||
【主权项】:
盛放石英坩埚用的碳碳坩埚,包括石墨底座和碳碳坩埚(2),碳碳坩埚(2)放在底座上,其特征在于:还包括上盖(1),上盖(1)与碳碳坩埚(2)扣合,碳碳坩埚(2)为左右两瓣式结构,碳碳坩埚(2)的下端为底口卡槽,底座包括底口(3)和底托(4),底托(4)上端有梯形凹槽,底口(3)的下端嵌入底托(4)的梯形凹槽中,底口(3)上端嵌入底口卡槽,底口(3)与碳碳坩埚(2)组合成一体式坩埚形状。
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