[实用新型]一种图案化衬底的测量装置

摘要

本实用新型公开一种图案化衬底的测量装置，属于半导体制程技术领域，包括垂直支架(1)、与垂直支架连接的水平支架(2)、铰接在垂直支架上用于放置测试样品的支撑台(3)、及设置在支撑台前端的伸缩装置(6)；垂直支架的下端与水平支架固定连接，垂直支架的上端通过旋转轴(5)与所述支撑台的一端连接，支撑台的另一端安装有所述用于调节支撑台长度的伸缩装置；所述水平支架上设有三个角度卡槽(4)，所述伸缩装置分别与所述三个角度卡槽由外至内连接，可实现支撑台与水平面的夹角为30°、45°和60°。该装置在不破坏样品的前提下，将样品倾斜一定角度，根据倾斜后的SEM图像测量的样品形貌高度，通过运算得到样品的垂直高度。

主权项

一种图案化衬底的测量装置，其特征在于，包括垂直支架(1)、与垂直支架(1)连接的水平支架(2)、铰接在垂直支架(1)上用于放置测试样品的支撑台(3)、及设置在支撑台(3)前端的伸缩装置(6)；所述垂直支架(1)的下端与水平支架(2)固定连接，垂直支架(1)的上端通过旋转轴(5)与所述支撑台(3)的一端连接，所述支撑台(3)的另一端安装有所述用于调节支撑台(3)长度的伸缩装置(6)；所述水平支架(2)上设有三个角度卡槽(4)，所述伸缩装置(6)分别与所述角度卡槽(4)连接。