[实用新型]一种热解氮化硼用的沉积炉

摘要

本实用新型涉一种热解氮化硼用的沉积炉，包括圆柱体形炉体，炉体的上端和下端分别设有顶盖和底板，炉体为密封结构，炉体的内侧设有加热结构，炉体中部放置有加工部件；炉体的侧壁上设有若干个进气管，炉体外侧的每个进气管上设有加热器；加热器与炉体之间的进气管上设有气流温度感应器；炉体的内壁和底板上侧分别设置有炉体温度感应器；炉体外侧设有电控箱。本实用新型能够通过加热器对进气管中的气流进行加热，确保输入的气流与炉体内的温度一致，从而使沉积作业均匀稳定，提高沉积作业的质量和产品质量；同时，能够高效监测和调控炉体内的温度，确保最佳的作业效率和作业质量。

主权项

一种热解氮化硼用的沉积炉，包括圆柱体形炉体，炉体的上端和下端分别设有顶盖和底板，炉体为密封结构，其特征在于，炉体的内侧设有加热结构，炉体中部放置有加工部件；炉体的侧壁上设有若干个进气管，炉体外侧的每个进气管上设有加热器；加热器与炉体之间的进气管上设有气流温度感应器；炉体的内壁和底板上侧分别设置有炉体温度感应器；炉体外侧设有电控箱，气流温度感应器、炉体温度感应器、加热器、加热结构均与电控箱电连接；炉体的内壁上设有隔热层；进气管的外壁上设有保温层。