[实用新型]一种透明导电电极加工装置有效
申请号: | 201620348645.9 | 申请日: | 2016-04-22 |
公开(公告)号: | CN205621518U | 公开(公告)日: | 2016-10-05 |
发明(设计)人: | 陈初群 | 申请(专利权)人: | 陈初群 |
主分类号: | H01B13/00 | 分类号: | H01B13/00;C23F1/08 |
代理公司: | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人: | 曹军 |
地址: | 434400 湖北省*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种透明导电电极加工装置,包括模板体,所述模板体上设置有密封环、接触件和通气孔,所述密封环和接触件固定在模板体靠近透明导电材料的一侧,所述接触件位于密封环内,所述密封环和接触件之间形成非接触腔,所述通气孔设置在模板体非接触腔处,所述通气孔为两个以上。本实用新型中模板体可以与透明导电材料充分接触,非接触腔在透明导电材料表面形成反应区域,为反应气体与导电层反应提供空间,通过反应使导电层中部分导电材料转化为不导电材料,从而得到图案化的电极,并且导电区域和非导电区域光学性能差异极低,能够实现完全消影蚀刻,在实际应用中效果显著,且采用本实用新型制备透明导电电极流程简单,制备成本低。 | ||
搜索关键词: | 一种 透明 导电 电极 加工 装置 | ||
【主权项】:
一种透明导电电极加工装置,其特征在于,包括模板体,所述模板体上设置有密封环、接触件和通气孔,所述密封环和接触件固定在模板体靠近透明导电材料的一侧,所述接触件位于密封环内,所述密封环和接触件之间形成非接触腔,所述通气孔设置在模板体非接触腔处,所述通气孔为两个以上。
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