[实用新型]一种用于微波等离子体化学气相沉积设备的移动样品台

摘要

本实用新型涉及一种用于微波等离子体化学气相沉积设备的移动样品台，属于微波等离子体化学气相沉积设备技术领域。所述移动样品台包括样品台、中心滑块、步进电机Ⅰ、基座、步进电机Ⅱ，螺杆Ⅰ、螺杆Ⅱ、滑块Ⅰ、滑块Ⅱ、滑块导轨，基座的下部实心结构，上部空心的结构，中心滑块位于基座的上部，基座上部四周均设有滑块导轨；螺杆Ⅰ的两端穿过滑块导轨，两端设有滑块Ⅰ，滑块Ⅰ位于滑块导轨上可滑动，其中一个滑块上设有步进电机Ⅰ；螺杆Ⅱ的结构与螺杆Ⅰ相同；由于螺杆Ⅰ与螺杆Ⅱ相互垂直且不在同一平面，中心滑块沿X轴、Y轴方向的移动相互独立，从而使沉积基片迅速到达与等离子球配合最佳的位置，大大提高工作效率和气相沉积效果。同时，样品台与基座接触面积小，降低样品热量的散失，可放置需高温处理的样品。

主权项

一种用于微波等离子体化学气相沉积设备的移动样品台，其特征在于：所述移动样品台包括样品台（1）、中心滑块（2）、步进电机Ⅰ（3）、基座（4）、步进电机Ⅱ（5），螺杆Ⅰ（6）、螺杆Ⅱ（7）、滑块Ⅰ（8）、滑块Ⅱ（9）、滑块导轨（10），基座（4）的下部实心结构，上部空心的结构，中心滑块（2）位于基座（4）的上部，基座（4）上部四周均设有滑块导轨（10）；螺杆Ⅰ（6）的两端穿过滑块导轨（10），两端设有滑块Ⅰ（8），滑块Ⅰ（8）位于滑块导轨（10）上可滑动，其中一个滑块上设有步进电机Ⅰ（3）；螺杆Ⅱ（7）两端穿过滑块导轨（10），两端设有滑块Ⅱ（9），滑块Ⅱ（9）位于滑块导轨（10）上可滑动，其中一个滑块上设有步进电机Ⅱ（5）；螺杆Ⅰ（6）与螺杆Ⅱ（7）相互垂直且不在同一平面；中心滑块（2）顶部与样品台（1）固定连接，底部与与基座（4）相接触，螺杆Ⅰ（6）、螺杆Ⅱ（7）穿过中心滑块，与中心滑块之间通过螺纹连接。