[实用新型]刮刀装置有效
申请号: | 201620355085.X | 申请日: | 2016-04-25 |
公开(公告)号: | CN205628489U | 公开(公告)日: | 2016-10-12 |
发明(设计)人: | 邱创弘;黄彦余;郑荣伟;杨子庆 | 申请(专利权)人: | 中华映管股份有限公司 |
主分类号: | B05C11/04 | 分类号: | B05C11/04 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 马雯雯;臧建明 |
地址: | 中国台湾*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本实用新型提供一种刮刀装置,适于形成膜层。刮刀装置包括移动式基板、旋转件、自调式刮刀、注射器以及流道。旋转件设置于移动式基板的上方。自调式刮刀连接旋转件,以在移动式基板上呈单摆运动。注射器装盛流体且设置于移动式基板的上方。流道设置于注射器的下方,且流体通过流道而分布于移动式基板上。膜层的厚度由移动式基板带动流体所形成的剪应力与自调式刮刀与流体接触时所施加的作用力达到力矩平衡时决定。本实用新型所形成的膜层厚度可由数十纳米至数百纳米之间,且具有低设备成本与使用灵活度高的优势。 | ||
搜索关键词: | 刮刀 装置 | ||
【主权项】:
一种刮刀装置,适于形成膜层,其特征在于,包括:移动式基板;旋转件,设置于所述移动式基板的上方;自调式刮刀,连接所述旋转件,以在所述移动式基板上呈单摆运动;注射器,装盛流体,且设置于所述移动式基板的上方;以及流道,设置于所述注射器的下方,且所述流体通过所述流道而分布于所述移动式基板上,其中所述膜层的厚度由所述移动式基板带动所述流体所形成的剪应力与所述自调式刮刀与所述流体接触时所施加的作用力达到力矩平衡时决定。
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