[实用新型]新型非晶硅太阳能电池薄膜制备装置

摘要

本实用新型涉及太阳能电池生产设备技术领域，尤其是一种新型非晶硅太阳能电池薄膜制备装置。这种新型非晶硅太阳能电池薄膜制备装置，包括薄膜生成箱，薄膜生成箱侧壁上方安装有气体汇总管，薄膜生成箱侧壁下方设有排气管，所述薄膜生成箱内腔上部安装有阳极，阳极下方对应设有阴极，阳极下表面安装有衬底；所述薄膜生成箱内腔下部安装有加热板，阴极通过底座安装于加热板上表面，加热板通过电线连接有频射电源，加热板和频射电源之间的线路上安装有电容。本实用新型结构简单，设计合理，操作简便，薄膜生成稳定性能良好，薄膜质量良好，同时使用寿命长，不需要经常维修和更换零件，使用成本低。

主权项

一种新型非晶硅太阳能电池薄膜制备装置，其特征在于：包括薄膜生成箱(10)，薄膜生成箱(10)侧壁上方安装有气体汇总管(6)，薄膜生成箱(10)侧壁下方设有排气管(15)，所述薄膜生成箱(10)内腔上部安装有阳极(8)，阳极(8)下方对应设有阴极(9)，阳极(8)下表面安装有衬底(7)；所述薄膜生成箱(10)内腔下部安装有加热板(12)，阴极(9)通过底座(11)安装于加热板(12)上表面，加热板(12)通过电线连接有频射电源(14)，加热板(12)和频射电源(14)之间的线路上安装有电容(13)；所述气体汇总管(6)上并联连接有硅烷气体进气管(1)、硼烷气体进气管(2)和磷烷气体进气管(3)。