[实用新型]窗口式氮化硅板

摘要

本实用新型涉及一种窗口式氮化硅板，包括有硅垫底层，其特点是：硅垫底层的上方外围设置有单晶硅外框，硅垫底层上分布有凹槽结构，凹槽内分布有若干单晶硅支架梁，若干单晶硅支架梁相互之间间隔排布，构成框架阵列，框架阵列之间形成氮化硅窗口，硅垫底层的上方、硅垫底层的下方、单晶硅支架梁的顶端，均分布有氮化硅膜层。由此，单晶硅支架梁的高度与宽度采用精简化设计，保证承载能力的同时，无需向外延长发展，降低了使用成本。并且，即便是某些特殊情况下，需要进行外延分布，高度亦可以超过20um，减少了规格上的限制。采用框架阵列的构造，整体结构稳定，有效承载外界应力。制造便利，实施工艺简单，实际投产的成品优良率高。

主权项

窗口式氮化硅板，包括有硅垫底层，其特征在于：所述硅垫底层的上方外围设置有单晶硅外框，所述硅垫底层上分布有凹槽结构，所述凹槽内分布有若干单晶硅支架梁，所述若干单晶硅支架梁相互之间间隔排布，构成框架阵列，所述框架阵列之间形成氮化硅窗口，所述硅垫底层的上方、硅垫底层的下方、单晶硅支架梁的顶端，均分布有氮化硅膜层。