[实用新型]一种用于蓝宝石晶片检测的样品卡盘支撑装置有效
| 申请号： | 201620364523.9 | 申请日： | 2016-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN206479463U | 公开（公告）日： | 2017-09-08 |
| 发明（设计）人： | 李洪亮;张俊宝;刘浦锋;宋洪伟;陈猛 | 申请（专利权）人： | 上海超硅半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/87 | 分类号： | G01N21/87 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201604 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型专利提供一种用于蓝宝石晶片检测样品卡盘的支撑装置，在平台的下方，安装两个卡盘支撑装置，卡盘支撑装置有两个带有中心孔的槽孔，支撑杆穿过槽孔，可以在槽孔内水平移动，用于调节水平位置，同时槽孔内有固定螺钉，可以将支撑杆固定。在支撑杆的端部，带有一个可以上下调节高度的螺栓，头部带有一个顶部半球形的聚胺脂螺帽。在使用中，首先调节支撑杆长度，使螺帽位于卡盘陶瓷吸盘的外侧，再调节螺栓，使聚胺脂螺帽对处于水平位置的卡盘进行支撑，减轻样品卡盘底部滑槽和螺丝的受力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 蓝宝石 晶片 检测 样品 卡盘 支撑 装置 | ||
【主权项】：
一种用于蓝宝石晶片检测样品卡盘的支撑装置，其特征在于在平台(2)的下方，安装两个卡盘支撑装置，在卡盘支撑装置上有两个带有中心孔的槽孔(8)，支撑杆(9)穿过槽孔(8)，在槽孔(8)内装有固定螺钉。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海超硅半导体有限公司，未经上海超硅半导体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201620364523.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种自承式蝶形引入光缆用开剥装置
- 下一篇：一种加电装置
