[实用新型]一种外延炉小盘基座有效
| 申请号： | 201620364915.5 | 申请日： | 2016-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN205635852U | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 孙永强;冯淦;赵建辉 | 申请（专利权）人： | 瀚天天成电子科技（厦门）有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 张松亭 |
| 地址： | 361101 福建省厦门市翔安区翔星*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种外延炉小盘基座，所述小盘基座中部凸起形成用于生长外延晶片的可旋转圆盘平台，圆盘平台上表面的周缘设置有至少三个限位块，所述限位块是沿圆盘平台周向延伸的条状凸起且近圆盘平台中心一侧形成与外延晶片匹配的圆弧段。通过限位块将衬底固定于圆盘平台上，去除了外限位环，固定效果好，可有效防止生长过程中晶片衬底飞离圆盘平台。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 外延 小盘 基座 | ||
【主权项】：
一种外延炉小盘基座，所述小盘基座中部凸起形成用于生长外延晶片的可旋转圆盘平台，其特征在于：所述圆盘平台上表面的周缘设置有至少三个限位块，所述限位块是沿圆盘平台周向延伸的条状凸起且近圆盘平台中心一侧形成与外延晶片匹配的圆弧段。
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