[实用新型]一种高真空有机源

摘要

本实用新型涉及一种高真空有机源，适用于多中真空设备配套，属于有机源组件技术领域。该高真空有机源包括：铠装热偶、石英坩埚、坩埚垫块、电极法兰焊件、支撑杆、有机源组件，所述铠装热偶连接石英坩埚的底部，所述石英坩埚设置于坩埚垫块上，所述石英坩埚外部设有有机源组件，所述有机源组件通过支撑杆连接电极法兰焊件。本实用新型提出的一种高真空有机源，该有机源为集约型，简洁，质量轻，可均匀加热、可温控、误差低和成本低；有机源更换方便简洁，以模块更换，更换成本低廉；有机源采用低压铠装丝，安全可靠，并且洁净，整体有机源价格低廉。

主权项

一种高真空有机源，其特征在于：包括：铠装热偶、石英坩埚、坩埚垫块、电极法兰焊件、支撑杆、有机源组件，所述铠装热偶连接石英坩埚的底部，所述石英坩埚设置于坩埚垫块上，所述石英坩埚外部设有有机源组件，所述有机源组件通过支撑杆连接电极法兰焊件。