[实用新型]一种外延炉反应室的可拆卸顶盖有效
| 申请号： | 201620365709.6 | 申请日： | 2016-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN205635849U | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 李奕洋;冯淦;赵建辉 | 申请（专利权）人： | 瀚天天成电子科技（厦门）有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/08 | 分类号： | C30B25/08;C30B29/36 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 张松亭 |
| 地址： | 361101 福建省厦门市翔安区翔星*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种外延炉反应室的可拆卸顶盖，包括上顶盖及下顶盖，下顶盖包括一中心圆插件及至少两个扇形环插件，所述中心圆插件通过连接件与上顶盖中部连接，所述扇形环插件紧密配合的环绕于中心圆插件外侧并分别与上顶盖连接；其中中心圆插件与扇形环插件的相接处及扇形环插件相互之间的相接处均形成台阶状配合。相对于传统的整片式下顶盖，本实用新型设计成多部件拼接易于拆卸清洁维护及更换，同时多点受力可以有效减少形变防止抱死。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 外延 反应 可拆卸 顶盖 | ||
【主权项】：
一种外延炉反应室的可拆卸顶盖，包括上顶盖及下顶盖，其特征在于：所述下顶盖包括一中心圆插件及至少两个扇形环插件，所述中心圆插件通过连接件与上顶盖中部连接，所述扇形环插件紧密配合的环绕于中心圆插件外侧并分别与上顶盖连接；其中中心圆插件与扇形环插件的相接处及扇形环插件相互之间的相接处均形成台阶状配合。
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