[实用新型]一种掩膜板组件有效
| 申请号： | 201620366050.6 | 申请日： | 2016-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN205528995U | 公开（公告）日： | 2016-08-31 |
| 发明（设计）人： | 林治明;王震 | 申请（专利权）人： | 鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;陈源 |
| 地址： | 017020 内蒙古自治*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种掩膜板组件，包括掩膜条和安装框架，所述掩膜条固定在所述安装框架上，所述掩膜条和所述安装框架之间具有第一重叠区域，在属于所述第一重叠区域的所述安装框架上或所述掩膜条上设置有第一通孔。本实用新型提供的掩膜板组件，不仅可以清除掉位于重叠区域的缝隙中的残留物，而且清洗液本身不会残留，从而可省去借助IPA进行擦除的步骤，既省时又省力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜板 组件 | ||
【主权项】：
一种掩膜板组件，包括掩膜条和安装框架，所述掩膜条固定在所述安装框架上，其特征在于，所述掩膜条和所述安装框架之间具有第一重叠区域，在属于所述第一重叠区域的所述安装框架上或所述掩膜条上设置有第一通孔。
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