[实用新型]一种压力传感器一体化绝压基座有效
申请号: | 201620371845.6 | 申请日: | 2016-04-27 |
公开(公告)号: | CN205580609U | 公开(公告)日: | 2016-09-14 |
发明(设计)人: | 郝程程 | 申请(专利权)人: | 鞍山沃天传感技术有限公司 |
主分类号: | G01K1/14 | 分类号: | G01K1/14 |
代理公司: | 鞍山嘉讯科技专利事务所 21224 | 代理人: | 张群 |
地址: | 114044 辽宁省鞍山市*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 一种压力传感器一体化表压基座,包括基座本体、金针、表压管,基座本体的内腔分为芯片槽和补偿板安装槽上下两个腔体,基座本体的上端还设置有硅油充灌腔与芯片槽连通,在芯片槽的周围设有至少3个通孔,金针通过玻璃绝缘子烧结固定在通孔中,金针的上端面露出在硅油充灌腔中,表压管通过玻璃绝缘子烧结固定在芯片槽的底部并与芯片槽连通。本实用新型用于表压压力传感器的封装,摒弃了采用陶瓷做填充的办法,将全金属结构的一体化基座作为压敏芯片单一的封装原件,真正实现了基座的一体化封装,在降低传感器温漂、提高其灵敏度的同时,节约了生产成本,使生产工艺更加简洁优化。 | ||
搜索关键词: | 一种 压力传感器 一体化 基座 | ||
【主权项】:
一种压力传感器一体化绝压基座,其特征在于,包括基座本体、金针,基座本体的内腔分为芯片槽和补偿板安装槽上下两个腔体,芯片槽与补偿板安装槽之间相互隔绝,基座本体的上端还设置有硅油充灌腔与芯片槽连通,在芯片槽的周围设有至少3个通孔,金针通过玻璃绝缘子烧结固定在通孔中,金针的上端面露出在硅油充灌腔中。
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