[实用新型]一种绝压压力传感器有效
申请号: | 201620371860.0 | 申请日: | 2016-04-27 |
公开(公告)号: | CN205580628U | 公开(公告)日: | 2016-09-14 |
发明(设计)人: | 赵忱 | 申请(专利权)人: | 鞍山沃天传感技术有限公司 |
主分类号: | G01L1/00 | 分类号: | G01L1/00;G01L11/00 |
代理公司: | 鞍山嘉讯科技专利事务所 21224 | 代理人: | 张群 |
地址: | 114044 辽宁省鞍山市*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 一种绝压压力传感器,包括基座、压力芯片、金针、压力敏感膜片、压环,基座的内腔分为芯片槽和补偿板安装槽上下两个腔体,芯片槽与补偿板安装槽之间相互隔绝,基座的上端还设置有硅油充灌腔与芯片槽连通,压力芯片放置在芯片槽中,在芯片槽的周围设有至少3个通孔,金针通过玻璃绝缘子烧结固定在通孔中,金针的上端面露出在硅油充灌腔中,通过金丝导线与压力芯片连接,压环焊接固定在基座的上端,压力敏感膜片固定在基座与压环之间。该压力传感器摒弃了采用陶瓷做填充的办法,全金属基座一体化封装的结构,在降低传感器温漂、提高其灵敏度的同时,节约了生产成本,使生产工艺更加简洁优化。 | ||
搜索关键词: | 一种 压压 传感器 | ||
【主权项】:
一种绝压压力传感器,其特征在于,包括基座、压力芯片、金针、压力敏感膜片、压环,基座的内腔分为芯片槽和补偿板安装槽上下两个腔体,芯片槽与补偿板安装槽之间相互隔绝,基座的上端还设置有硅油充灌腔与芯片槽连通,压力芯片放置在芯片槽中,在芯片槽的周围设有至少3个通孔,金针通过玻璃绝缘子烧结固定在通孔中,金针的上端面露出在硅油充灌腔中,通过金丝导线与压力芯片连接,压环焊接固定在基座的上端,压力敏感膜片固定在基座与压环之间。
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