[实用新型]一种高速高精度二维运动平台

摘要

本实用新型公开了一种直线电机驱动的高速高精度二维运动平台，该运动平台包括：X平台、Y平台和工作台，其中Y平台安装在X平台上，工作台安装在Y平台上，X平台主要包括驱动Y平台在X平台上运动的第一直线电机以及支撑Y平台运动的第一直线导轨，Y平台主要包括驱动工作台在Y平台上运动的第二直线电机以及支撑工作台运动的第二直线导轨，工作台上载有负载，本实用新型还包括设置于第一直线电机和第二直线电机上的磁屏蔽箱体，用于减少电机的磁漏。通过上述机构，使直线电机定子的磁场被有效屏蔽，从而减小电机漏磁产生的不利影响，并实现工作台在二维方向上的高速、高精度控制。

主权项

一种高速高精度二维运动平台，其特征在于，包括X平台、Y平台和工作台；所述X平台固定，Y平台安装在X平台上，工作台安装在Y平台上；所述X平台包括第一直线导轨、第一底座、第一直线电机和第一反馈传感器，所述第一直线电机包括第一定子、第一动子和第一磁屏蔽箱体，所述第一直线导轨包括第一导轨和第一滑块，所述第一反馈传感器包括第一光栅尺和第一读数头；所述第一导轨固定在第一底座上与X轴方向平行，所述第一定子固定在第一底座上，第一磁屏蔽箱体将第一定子裹住，减少磁泄漏，所述第一动子与Y平台连接，驱动Y平台在第一直线导轨上往复运动；所述Y平台包括第二直线导轨、第二底座、第二直线电机和第二反馈传感器，所述第二直线电机包括第二定子、第二动子和第二磁屏蔽箱体，所述第二直线导轨包括第二导轨和第二滑块，所述第二反馈传感器包括第二光栅尺和第二读数头；所述第二底座安装在第一滑块上，与第一动子连接，由第一动子驱动，所述第二导轨固定在第二底座上且与Y轴方向平行，所述第二定子固定在第一底座上，所述第二磁屏蔽箱体将第二定子包裹，减少磁泄漏，所述工作台安装在第二滑块上，所述第二动子与工作台连接，驱动工作台在第二直线导轨上运动；所述工作台上装有负载；所述第一光栅尺设置在第二底座的一侧，与第一导轨平行，所述第一读数头固定在第一底座上，读取第一光栅尺的刻度，所述第二光栅尺设置在工作台的一侧，与第二导轨平行，所述第二读数头固定在第二底座上，读取第二光栅尺的刻度。