[实用新型]一种新型的镀膜治具有效
| 申请号： | 201620381516.X | 申请日： | 2016-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN205662594U | 公开（公告）日： | 2016-10-26 |
| 发明（设计）人： | 李忠华;马一力 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150080 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种本实用新型涉及一种安装于真空镀膜设备中的镀膜治具，更具体的说是一种新型的周边带有挡板的特殊形状的镀膜治具，可以在不改变真空镀膜治具腔体体积的情况下，尽可能多的进行多件材料的同时镀膜；并且通过安装挡板，尽量使得蒸发的待镀膜料汇聚在材料的下方面，减少甚至避免待镀材料的污染，提高产品质量。锥形的治具装样板上均匀地分布着一定大小的材料放置孔，治具装样板的四周安装有向外侧形成一定夹角的挡板，锥形的治具装样板顶角上有向上的连接杆Ⅰ，连接杆Ⅰ的上端固定有夹板，夹板与夹具夹件间通过螺栓可拆卸，夹具夹件通过连接杆Ⅱ可与真空镀膜设备腔体紧固相连。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 镀膜 | ||
【主权项】：
一种新型的镀膜治具，包括治具装样板（1）、挡板（2）、材料放置孔（3）、连接杆Ⅰ（4）、夹板（5）、夹具夹件（6）、螺栓（7）和连接杆Ⅱ（8），其特征在于：锥形的治具装样板（1）上均匀地分布着一定大小的材料放置孔（3），治具装样板（1）的四周安装有向外侧形成一定夹角的挡板（2），锥形的治具装样板（1）顶角上有向上的连接杆Ⅰ（4），连接杆Ⅰ（4）的上端固定有夹板（5），夹板（5）与夹具夹件（6）间通过螺栓（7）可拆卸，夹具夹件（6）通过连接杆Ⅱ（8）可与真空镀膜设备腔体紧固相连。
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