[实用新型]一种可夹持蒸镀盘自动旋转翻转的夹具装置有效

专利信息
申请号: 201620382148.0 申请日: 2016-05-03
公开(公告)号: CN205662595U 公开(公告)日: 2016-10-26
发明(设计)人: 王暄;丁玲;林文莉 申请(专利权)人: 哈尔滨理工大学
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C14/24
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 150080 黑龙*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要: 实用新型公开了一种可夹持蒸镀盘自动旋转翻转的夹具装置,应用于真空镀膜机中,其组成包括主动夹具、从动夹具、双层蒸镀盘、拱形臂、传动杆、蒸镀室、加热蒸发槽和舱门,其中主动夹具又包括步进电机、无线接收控制器、固定手柄压紧螺栓和防滑垫,无线接收控制器又配有无线遥控器,以根据蒸镀试验要求控制双层蒸镀盘的翻转;本实用新型可实现一次同时蒸镀试品的上下两面,提高了工作效率,同时,将传统蒸镀室内的挂钩改为夹具,防止了双层蒸镀盘在旋转时产生相对滑动,减小了因试验操作造成实验数据结果的误差。
搜索关键词: 一种 夹持 蒸镀盘 自动 旋转 翻转 夹具 装置
【主权项】:
一种可夹持蒸镀盘自动旋转翻转的夹具装置,应用于真空镀膜机中,其特征在于:它包含舱门(1)、主动夹具(2)、拱形臂(3)、传动杆(4)、双层蒸镀盘(5)、从动夹具(6)、蒸镀室(7)、加热蒸发槽(8),其中主动夹具(2)又包括步进电机(10)、无线接收控制器(9)、固定手柄压紧螺栓(11)和防滑垫(12),主动夹具(2)与从动夹具(6)都具有固定手柄压紧螺栓(11)和防滑垫(12),无线接收控制器(9)又配有无线遥控器。
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