[实用新型]一种可靠性测试装置有效
| 申请号： | 201620384903.9 | 申请日： | 2016-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN205607929U | 公开（公告）日： | 2016-09-28 |
| 发明（设计）人： | 王侃晟 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01N29/22 | 分类号： | G01N29/22 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 唐棉棉 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区大*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种可靠性测试装置，所述可靠性测试装置至少包括：托盘，所述托盘表面设置有多个样品槽；吸孔，设置在所述样品槽的底部；管道，具有多个管道口，所述管道口固定在所述托盘上，并与所述吸孔连通；水泵，与所述管道相连。本实用新型的可靠性装置利用样品槽可以很好地固定待测试的样品，进行超声波断层扫描时，将样品放置到样品槽的水中，扫描过程中样品上可能会吸附气泡，通过本装置的吸孔以及水泵可以有效去除吸附在样品中的气泡，减少超声波断层扫描测试的噪声。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可靠性 测试 装置 | ||
【主权项】：
一种可靠性测试装置，其特征在于，所述测试装置至少包括：托盘，所述托盘表面设置有多个样品槽；吸孔，设置在所述样品槽的底部；管道，具有多个管道口，所述管道口固定在所述托盘上，并与所述吸孔连通；水泵，与所述管道相连。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司，未经中芯国际集成电路制造（北京）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201620384903.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
