[实用新型]一种非接触吸盘装置有效
申请号: | 201620384957.5 | 申请日: | 2016-04-29 |
公开(公告)号: | CN205618523U | 公开(公告)日: | 2016-10-05 |
发明(设计)人: | 张弛;王志刚;孙小俊;王四海 | 申请(专利权)人: | 南京卓胜自动化设备有限公司 |
主分类号: | F16B47/00 | 分类号: | F16B47/00 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 肖明芳 |
地址: | 210000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种非接触吸盘装置,包括非接触吸盘本体,所述非接触吸盘本体下端设有缓冲垫固定盘,缓冲垫固定盘下端设有缓冲垫。所述缓冲垫固定盘上设有U型槽,用于排出多余放射状气流。所述缓冲垫固定盘与缓冲垫通过3M胶带连接。所述非接触吸盘本体上固定连接一固定圆盘。所述固定圆盘上套接一传感器,用于检测是否吸附到硅片。所述固定圆盘上设有固定座,用于将非接触吸盘装置本体与外部装置相固定。所述非接触吸盘本体顶部设有气管接头,用于引入压缩空气。 | ||
搜索关键词: | 一种 接触 吸盘 装置 | ||
【主权项】:
一种非接触吸盘装置,其特征在于,包括非接触吸盘本体(4),所述非接触吸盘本体(4)下端设有缓冲垫固定盘(3),缓冲垫固定盘(3)下端设有缓冲垫(2)。
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