[实用新型]一种碳化硅化学抛光机

摘要

一种碳化硅化学抛光机，包括底座，其特征在于：所述底座的上侧面设有固定板以及由电机带动进行旋转的抛光平台，所述抛光平台的一侧设有垂直安装于底座的打磨装置，所述打磨装置包括位于上端的打磨棒及底端的导轨滑块，所述的导轨滑块与设置于底座的导轨配合实现打磨装置的移动；所述的抛光装置包括固定于靠近抛光平台的一端的抛光片以及另一端的导轨滑块，所述的导轨滑块与设置于固定板侧面的导轨配合实现抛光装置的移动；本实用新型将打磨装置和抛光装置设在同一抛光平台的一侧，打磨后可进行抛光，节省空间和时间，并且设有电吹风机能够将打磨后的粉尘清理干净，方便进行下一步抛光。

主权项

一种碳化硅化学抛光机，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的上侧面设有固定板(12)以及由电机(11)带动进行旋转的抛光平台(2)，所述抛光平台(2)的一侧设有垂直安装于底座(1)的打磨装置(5)，所述打磨装置(5)包括位于上端的打磨棒(3)及底端的导轨滑块，所述的导轨滑块与设置于底座(1)的导轨(17)配合实现打磨装置(5)的移动；所述的固定板(12)上设置有储液仓(13)和抛光装置，储液仓(13)底端连通抛光液输送管(8)一端，抛光液输送管(8)另一端连接有位于抛光平台(2)正上方的喷头(9)；在抛光平台(2)底端环绕抛光平台(2)设有环形废液槽(4)，所述环形废液槽(4)经一导流管(14)与废液收集槽(15)连通，所述导流管(14)与废液收集槽(15)螺纹连接；所述的抛光装置(6)包括固定于靠近抛光平台(2)的一端的抛光片(7)以及另一端的导轨滑块，所述的导轨滑块与设置于固定板(12)侧面的导轨配合实现抛光装置(6)的移动；在抛光液输送管(8)连接喷头(9)的一端还设有出风口正对抛光平台的电吹风机(10)。