[实用新型]一体式石英双梁音叉谐振敏感元件及测力模块有效
| 申请号： | 201620387853.X | 申请日： | 2016-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN205562087U | 公开（公告）日： | 2016-09-07 |
| 发明（设计）人： | 潘静 | 申请（专利权）人： | 成都皆为科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/10 | 分类号： | G01L1/10 |
| 代理公司： | 四川力久律师事务所 51221 | 代理人： | 王芸;熊晓果 |
| 地址： | 610000 四川省成都市高*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一体式石英双梁音叉谐振敏感元件及测力模块，其中一体式石英双梁音叉谐振敏感元件包括双梁音叉，双梁音叉包括第一叉指和第二叉指，第一叉指和第二叉指的两端分别连接在施力结构件和底座上；第一叉指和第二叉指表面均涂覆有电极区；第一叉指和第二叉指工作在面内弯曲振动模态，谐振频率对轴向拉应力、压应力敏感；施力结构件、双梁音叉和底座均为一体成型石英结构体。该一体式石英双梁音叉谐振敏感元件能够避免不同材料组装后导致的热膨胀系数不同、热性能不匹配、胶粘剂在温度变化时发生蠕变以及内应力的存在问题，减少了对该谐振元件的精度带来影响。 | ||
| 搜索关键词： | 体式 石英 音叉 谐振 敏感 元件 测力 模块 | ||
【主权项】：
一种一体式石英双梁音叉谐振敏感元件，包括双梁音叉(1)，所述双梁音叉(1)包括第一叉指(11)和第二叉指(12)，其特征在于，所述第一叉指(11)和第二叉指(12)的两端分别连接在施力结构件(3)和底座上；所述第一叉指(11)和第二叉指(12)表面均涂覆有电极区；所述第一叉指(11)和第二叉指(12)工作在面内弯曲振动模态，谐振频率对轴向拉应力、压应力敏感；所述施力结构件(3)、双梁音叉(1)和底座(4)均为一体成型石英结构体。
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