[实用新型]一种一体式石英谐振力频敏感元件及测力模块有效
| 申请号： | 201620387854.4 | 申请日： | 2016-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN205562088U | 公开（公告）日： | 2016-09-07 |
| 发明（设计）人： | 潘静 | 申请（专利权）人： | 成都皆为科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/10 | 分类号： | G01L1/10 |
| 代理公司： | 四川力久律师事务所 51221 | 代理人： | 王芸;熊晓果 |
| 地址： | 610000 四川省成都市高*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种一体式石英谐振力频敏感元件及测力模块，其中谐振敏感元件包括基座，基座表面设有通槽和双梁音叉，双梁音叉包括连接在通槽内壁之间相互平行的第一叉指和第二叉指，第一叉指、第二叉指表面均涂覆有电极区，双梁音叉工作在面内弯曲振动模态，谐振频率对轴向和横向的拉应力、压应力敏感；在垂直双梁音叉电极区的通槽两侧基座表面设有挠性支撑槽，其贯穿基座并将基座分为安装部和敏感摆片；双梁音叉、基座和挠性支撑槽均为一体成型石英结构体。该谐振敏感元件能够将垂直方向的力转变为沿双梁音叉轴向或横向的拉应力、压应力，可通过频率检测电路把双梁音叉的谐振频率输出，将外力转换为电信号，完成对力的数字化感应与测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 体式 石英 谐振 敏感 元件 测力 模块 | ||
【主权项】：
一种一体式石英谐振力频敏感元件，包括基座(2)，其特征在于，所述基座(2)表面设有通槽(21)，所述通槽(21)内设有双梁音叉(1)，所述双梁音叉(1)包括连接在所述通槽(21)内壁之间的相互平行的第一叉指(11)和第二叉指(12)，所述第一叉指(11)、第二叉指(12)表面均涂覆有电极区，所述双梁音叉(1)工作在面内弯曲振动模态，谐振频率对轴向拉应力、压应力和横向拉应力、压应力敏感；在垂直所述双梁音叉(1)电极区的所述通槽(21)两侧的基座表面设有挠性支撑槽(4)，所述挠性支撑槽(4)贯穿所述基座(2)并将基座分为安装部(23)和能够相对所述安装部(23)摆动的敏感摆片(22)；所述双梁音叉(1)、安装部(23)、敏感摆片(22)和挠性支撑槽(4)均为一体成型石英结构体。
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