[实用新型]一种全自动多晶硅块倒角磨面加工一体设备

摘要

本实用新型涉及多晶硅块加工设备，旨在提供一种全自动多晶硅块倒角磨面加工一体设备。该种全自动多晶硅块倒角磨面加工一体设备包括底架组件、磨削动力头组件、尺寸检测单元、磨削工作台组件、机械手组件及储料台组件。多晶硅块的磨面倒角加工能在本实用新型中全自动进行，无需在不同设备间转运，节约加工耗时；此外，磨削动力头采用对称布局，同时进行双面加工，成倍地提高加工效率。

主权项

一种全自动多晶硅块倒角磨面加工一体设备，包括底架组件、磨削动力头组件、尺寸检测单元、磨削工作台组件、机械手组件及储料台组件、外罩钣金组件，其特征在于，所述底架组件包括底架本体、主导轨、主丝杆、主驱动电机，底架本体的中部设有两根平行的主导轨，两根主导轨上安装有磨削工作台组件；所述主驱动电机设置在底架本体上，主驱动电机能通过主丝杆驱动磨削工作台组件，使磨削工作台组件能沿着主导轨移动；底架本体上还设置有废油箱，用于存储润滑丝杆导轨后废弃的润滑油；所述磨削工作台组件包括尾座、工作台底板、气缸、对刀传感器、尺寸检测基准块、头座、行星减速机和分度电机；所述尾座和头座分别安装在工作台底板的两端，且头座和尾座的回转中心位于同一高度；工作台底板内设有气缸，尾座能在气缸的驱动下沿着工作台底板向头座离开或靠拢移动，用于夹紧和松开硅块；头座中面向尾座的一端设有对刀传感器和尺寸检测基准块，用于在硅块加工前做为测量基准；头座的另一端设有行星减速机和分度电机，分度电机能通过精度分度控制硅块旋转并停止于所需的角度位置；所述底架组件中的主驱动电机驱动主丝杆，从而驱动磨削工作台组件进给，在两根对称安装的主导轨导向下，能使磨削工作台组件运动在底架本体上的各工位之间；所述底架组件的两侧各设有一个延伸平台，延伸平台用于安装磨削动力头组件；所述磨削动力头组件包括两个粗磨动力头组件和两个精磨动力头组件，即在两侧延伸平台上各安装一组精磨动力头组件和一组粗磨动力头组件；所述粗磨动力头组件包括粗磨动力头、粗磨变频电机、粗磨动力头固定座、粗磨进给组件、粗磨砂轮安装座和粗磨杯型砂轮；所述粗磨进给组件安装在延伸平台上，通过丝杠螺母副、导轨滑块副与粗磨动力头固定座相连，用于驱动粗磨动力头实现前后进给移动；所述粗磨动力头的一头安装粗磨变频电机，另一头安装粗磨砂轮安装座，粗磨砂轮安装座上安装粗磨杯型砂轮；所述粗磨变频电机通过联轴器与动力头内部主轴联接，用于驱动粗磨杯型砂轮进行旋转；所述精磨动力头组件包括精磨动力头、精磨变频电机、精磨动力头固定座、精磨进给组件、精磨砂轮安装座和精磨杯型砂轮；所述精磨进给组件安装在延伸平台上，通过丝杠螺母副、导轨滑块副与精磨动力头固定座相连，用于驱动精磨动力头实现前后进给移动；所述精磨动力头的一头安装精磨变频电机，另一头安装精磨砂轮安装座，精磨砂轮安装座上安装精磨杯型砂轮；所述精磨变频电机通过联轴器与动力头内部主轴联接，用于驱动粗磨杯型砂轮进行旋转；所述机械手组件及储料台组件、尺寸检测单元分别安装在底架组件的侧面；所述机械手组件用于将放在储料台组件上的多晶硅块装入磨削工作台组件的工作台底板上，以及将磨削完成的多晶硅块从工作台底板上取下放置在储料台组件上；所述尺寸检测单元包括底座、驱动电机、直线运动单元、支撑座和接触式传感器；所述底座安装在底架本体上，所述驱动电机和直线运动单元安装在底座上，且驱动电机与直线运动单元相连；所述支撑座上设有支撑臂，接触式传感器通过支撑臂安装在支撑座上，支撑座安装在直线运动单元上；驱动电机能支撑座在直线运动单元上移动，用于带动接触式传感器进行尺寸检测；所述外罩钣金组件安装在底架组件的上端，用于保护设备；外罩钣金组件上方还设有水气路通道和排气管道，水气路通道用于水气路输送，排气管道用于排出设备内的废气。