[实用新型]一种高效且方便清洁的碳化硅化学抛光机有效
| 申请号： | 201620388348.7 | 申请日： | 2016-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN205703715U | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 宗艳民 | 申请（专利权）人： | 山东天岳晶体材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B9/06;B24B57/00 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人： | 苗峻 |
| 地址： | 250118 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种高效且方便清洁的碳化硅化学抛光机，包括底座，所述底座的上侧面设有固定板以及由电机带动进行旋转的第一抛光平台和第二抛光平台。该高效且方便清洁的碳化硅化学抛光机，通过设有的第一抛光平台和第二抛光平台并且通过打磨装置和抛光装置对于碳化硅进行抛光，这样可以对于碳化硅有一个初步的磨平棱角的工序，不仅方便了下面的抛光工序，而且使得抛光更为彻底，通过环形废液槽和废液收集槽可以对于使用过的抛光液进行收集，使得抛光液不会到处流淌，方便了工作之后的清洁，而且从一定程度上还可以节约抛光时间和成本，具有很强的实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高效 方便 清洁 碳化硅 化学 抛光机 | ||
【主权项】：
一种高效且方便清洁的碳化硅化学抛光机，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的上侧面设有固定板(12)以及由电机(11)带动进行旋转的第一抛光平台(2)和第二抛光平台(3)，所述第一抛光平台(2)的一侧设有垂直安装于底座(1)的打磨装置(5)，所述打磨装置(5)包括位于第一抛光平台(2)正上方的打磨棒(10)；所述的固定板(12)上设置有储液仓(13)和抛光装置(6)，储液仓(13)底端连通抛光液输送管(7)一端，抛光液输送管(7)另一端连接有位于第二抛光平台(3)正上方的喷头(8)，在第二抛光平台(3)底端环绕第二抛光平台(3)设有环形废液槽(4)，所述环形废液槽(4)经一导流槽(14)与废液收集槽(9)连通；所述的抛光装置(6)包括位于第二抛光平台(3)正上方的抛光片(15)。
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