[实用新型]用于承载晶片的支撑组件有效
申请号: | 201620389263.0 | 申请日: | 2016-05-04 |
公开(公告)号: | CN205621708U | 公开(公告)日: | 2016-10-05 |
发明(设计)人: | 朱文杰;袁延显;爱德华巴亚特 | 申请(专利权)人: | 番禺得意精密电子工业有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 511458 广东省广州市番禺*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于承载晶片的支撑组件,包括:一支撑件,支撑件包括一不锈钢层以及一胶层,胶层设置于不锈钢层的下表面,用于黏合晶片;一剥离件,贴合于支撑件下方,剥离件包括一剥离层以及设置于剥离层下方的一载带,剥离层可剥离地贴合于胶层的下方,载带具有一黏合层与剥离层相黏合,且黏合层的面积大于或者等于剥离层的面积。本实用新型由于胶层与载带之间增设了一层剥离层,因而胶层不会黏到载带,由此改善误排和变形问题。此外,由于黏合层的面积大于或者等于剥离层的面积,无需精确对位支撑件的位置来设置小面积的黏合层,在保证剥离层与载带良好黏合的同时,可简化制造工艺。 | ||
搜索关键词: | 用于 承载 晶片 支撑 组件 | ||
【主权项】:
一种用于承载晶片的支撑组件,其特征在于,包括:一支撑件,所述支撑件包括一不锈钢层以及一胶层,所述胶层设置于所述不锈钢层的下表面,用于黏合晶片;一剥离件,贴合于所述支撑件下方,所述剥离件包括一剥离层以及设置于所述剥离层下方的一载带,所述剥离层可剥离地贴合于所述胶层的下方,所述载带具有一黏合层与所述剥离层相黏合,且所述黏合层的面积大于或者等于所述剥离层的面积。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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