[实用新型]一种二次加料器有效
申请号: | 201620394316.8 | 申请日: | 2016-04-29 |
公开(公告)号: | CN205590832U | 公开(公告)日: | 2016-09-21 |
发明(设计)人: | 张晓朋;赵会刚;李德建;李朝阳 | 申请(专利权)人: | 河北宁通电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 石家庄元汇专利代理事务所(特殊普通合伙) 13115 | 代理人: | 周大伟 |
地址: | 055550 河北省邢*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型涉及单晶硅加工设备领域,特别是涉及一种单晶炉的二次加料装置,包括加料筒、钼杆、钼锥、上定位环、下定位环和通气法兰盘,钼杆穿过上定位环和下定位环的中心固定在加料筒中轴位置,钼杆下端与钼锥固定连接,钼锥位于加料筒的底口,钼杆和钼锥形成可以沿加料筒中心上下移动的结构。利用本实用新型实现了高效的二次加料,提高了石英坩埚的容积率,降低单晶的石英坩埚的成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 二次 料器 | ||
【主权项】:
一种二次加料器,包括加料筒(1)、通气法兰盘(6)、钼杆(2)、和钼锥(3),钼锥(3)为锥台形结构,其特征在于:还包括上定位环(4)和下定位环(5),通气法兰盘上设置有通气孔,上定位环(4)和下定位环(5)中心留有通孔,钼杆(2)穿过上定位环(4)和下定位环(5)的通孔,钼杆(2)固定在加料筒(1)的中轴位置,钼杆(2)下端与钼锥(3)固定连接,钼锥(3)位于加料筒(1)的底口处,钼杆(2)和钼锥(3)形成可以沿加料筒(1)中心上下移动的结构。
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