[实用新型]基板分析装置

摘要

本实用新型的课题是提供一种基板分析装置，其自动地进行：从将移行有基板所含的杂质的分析液予以回收，到ICP‑MS等的分析为止。本实用新型的基板分析装置具备有：载入端口，设置有收纳基板的收纳盒；基板搬送机器人，可取出、搬送、设置收纳在载入端口的基板；对准器，调整基板的位置；干燥室，将基板加热干燥；气相分解室，用以通过蚀刻气体而蚀刻基板；分析扫描端口，具有载置基板的分析台、以及基板分析用喷嘴，并通过该基板分析用喷嘴，将载置在分析台的基板表面以分析液扫掠，并将使分析对象物移行的分析液回收；分析液采取手段，具备经投入所回收的分析液的分析容器；分析手段，将由喷雾器所供给的分析液进行元素分析。

主权项

一种基板分析装置，其特征在于，具备：载入端口，其设置有收纳分析对象的基板的收纳盒；基板搬送机器人，其可取出、搬送、设置收纳在载入端口的基板；对准器，其调整基板的位置；干燥室，其将基板加热干燥；气相分解室，其用以通过蚀刻气体而蚀刻基板；分析扫描端口，其具有载置基板的分析台、以及基板分析用喷嘴，其中通过该基板分析用喷嘴，将载置在分析台的基板表面以分析液扫掠，并将使分析对象物移行的分析液回收；分析液采取手段，其具备经投入由基板分析用喷嘴所回收的分析液的分析容器；以及分析手段，其将由喷雾器所供给的分析液进行元素分析。