[实用新型]一种半导体器件检测装置有效
| 申请号： | 201620412103.3 | 申请日： | 2016-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN205749800U | 公开（公告）日： | 2016-11-30 |
| 发明（设计）人： | 李明;赵正印;韩红培 | 申请（专利权）人： | 许昌学院 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 461000*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体器件检测装置。它包括测试夹具、探针台、半导体参数测试仪、计算机和打印机，探针台与半导体参数测试仪通过电缆线连接，测试夹具设置在探针台内的真空室内，测试夹具夹有被测半导体器件，半导体参数测试仪与计算机相连，计算机和打印机相连。本实用新型结构简单，检测方便可靠，实用性强，大大提高了检测器件的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体器件 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种半导体器件检测装置，其特征在于，包括测试夹具(1)、探针台(2)、半导体参数测试仪(3)、计算机(4)和打印机(5)，探针台(2)与半导体参数测试仪(3)通过电缆线连接，测试夹具(1)设置在探针台(2)内的真空室内，测试夹具(1)夹有被测半导体器件，半导体参数测试仪(3)与计算机(4)相连，计算机(4)和打印机(5)相连。
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